盛美上海前道铜互连电镀设备荣获第五届“集成电路产业技术创新奖”

盛美上海与客户签订Ultra ECP ap高速电镀设备批量采购合同

盛美上海18腔300mm Ultra C VI单晶圆清洗设备投入量产

盛美上海：澄清公告

盛美上海获多台Ultra ECP map及Ultra ECP ap电镀设备订单

盛美上海获批量Ultra C wb槽式湿法清洗设备采购订单