盛美上海首次获得 Ultra C SiC 碳化硅衬底清洗设备的采购订单

盛美上海获得欧洲一家全球性半导体制造商的单片SAPS兆声波清洗设备采购订单

“盛美半导体设备研发与制造中心”厂房A封顶大吉

盛美上海首台前道ArF工艺涂胶显影设备Ultra LITH顺利出机

湿法设备出货量再创新高，突破三千腔大关

庆祝盛美上海ECP设备500电镀腔顺利交付！